如 果 您 有 任 何 意 见 或 建 议 请 电 邮 d m s h a n g h a i @ 3 0 0 . c n 霍 尔 效 应 测 试 仪 金 刚 石 划 片 机 真 空 共 晶 炉 光 刻 机 探 针 台 载 德 半 导 体 技 术 有 限 公 司 网 站 首 页 H o m e 走 进 载 德 A b o u t 产 品 中 心 P r o d u c t s 新 闻 资 讯 N e w s 服 务 支 持 S e r v i c e 招 贤 纳 士 R e c r u i t m e n t 联 系 我 们 C o n t a c t  网 站 首 页 走 进 载 德 产 品 中 心 新 闻 资 讯 服 务 支 持 招 贤 纳 士 联 系 我 们 b a n n e r 3 载 德 半 导 体 技 术 有 限 公 司 主 要 产 品 包 括 ： 霍 尔 效 应 测 试 仪 、 金 刚 石 划 片 机 、 真 空 共 晶 炉 、 电 子 束 蒸 发 镀 膜 机 、 探 针 台 、 热 蒸 发 镀 膜 机 、 快 速 退 火 炉 、 回 流 焊 炉 、 原 子 层 沉 积 系 统 、 光 刻 机 等 。   载 德 半 导 体 技 术 有 限 公 司 S I D E S E M I C O N D U C T O R T E C H N O L O G I E S L I M I T E D 一 家 专 业 的 微 纳 材 料 、 半 导 体 和 微 电 子 材 料 及 器 件 研 发 仪 器 及 设 备 的 供 应 商 。 载 德 半 导 体 公 司 所 代 理 的 仪 器 设 备 广 泛 用 于 高 校 、 研 究 所 、 以 及 半 导 体 和 微 电 子 领 域 的 高 科 技 企 业 。 载 德 半 导 体 技 术 有 限 公 司 主 要 产 品 包 括 ： 霍 尔 效 应 测 试 仪 、 金 刚 石 划 片 机 、 真 空 共 晶 炉 、 电 子 束 蒸 发 镀 膜 机 、 探 针 台 、 热 蒸 发 镀 膜 机 、 快 速 退 火 炉 、 回 流 焊 炉 、 原 子 层 沉 积 系 统 、 光 刻 机 等 。 5 0 0 m 2 占 地 面 积 2 5 人 职 工 人 数 2 0 0 6 年 公 司 创 建 于 您 的 浏 览 器 不 支 持 H T M L 5 视 频 产 品 中 心 P R O D U C T C E N T E R 快 速 退 火 炉 霍 尔 效 应 测 试 仪 探 针 台 镀 膜 机 微 电 子 工 艺 设 备 测 试 仪 器 R T P 1 2 0 0 快 速 退 火 炉 R T P 1 2 0 0 快 速 退 火 炉 韩 国 E c o p i a 公 司 生 产 ， 最 大 样 品 尺 寸 ： 1 5 m m X 2 0 m m 。 R T P 1 2 0 0 特 点 ： 使 用 单 相 电 ， 普 通 照 明 电 即 可 使 用 ； 风 冷 设 计 、 无 须 采 购 冷 水 机 ； 真 空 退 火 ， 可 以 使 用 氢 氮 混 合 气 ( L e a r n m o r e R T P 1 0 0 快 速 退 火 炉 R T P 1 0 0 快 速 退 火 炉 德 国 优 尼 坦 公 司 生 产 ， 最 大 样 品 尺 寸 ： 4 英 寸 晶 圆 或 者 1 0 0 m m x 1 0 0 m m 尺 寸 样 品 ， R T P 1 0 0 支 持 惰 性 气 体 保 护 、 低 真 空 或 高 真 空 快 速 热 处 理 。 L e a r n m o r e R T P 1 5 0 快 速 退 火 炉 R T P 1 5 0 快 速 退 火 炉 德 国 优 尼 坦 公 司 生 产 ， 最 大 样 品 尺 寸 ： 6 英 寸 晶 圆 或 者 1 5 6 m m x 1 5 6 m m 尺 寸 样 品 ， R T P 1 5 0 可 以 支 持 惰 性 气 体 保 护 、 低 真 空 或 高 真 空 快 速 热 处 理 。 L e a r n m o r e V P O 3 0 0 快 速 退 火 炉 V P O 3 0 0 快 速 退 火 炉 德 国 优 尼 坦 公 司 生 产 ， 最 大 样 品 尺 寸 ： 1 2 英 寸 晶 圆 或 3 0 0 m m x 3 0 0 m m 尺 寸 样 品 ， V P O 3 0 0 支 持 惰 性 气 体 保 护 、 低 真 空 、 或 高 真 空 快 速 热 处 理 。 L e a r n m o r e E c o p i a H M S 3 0 0 0 霍 尔 效 应 测 试 仪 E c o p i a H M S 3 0 0 0 霍 尔 效 应 测 试 仪 H M S 3 0 0 0 是 全 世 界 最 畅 销 的 一 款 霍 尔 效 应 测 试 仪 型 号 ！ L e a r n m o r e E c o p i a H M S 3 5 0 0 高 温 霍 尔 效 应 测 试 仪 E c o p i a H M S 3 5 0 0 高 温 霍 尔 效 应 测 试 仪 霍 尔 效 应 测 试 仪 主 要 用 于 测 量 半 导 体 材 料 的 载 流 子 浓 度 、 迁 移 率 、 电 阻 率 、 霍 尔 系 数 、 导 电 类 型 等 重 要 参 数 ， 而 这 些 参 数 是 了 解 半 导 体 材 料 电 学 特 性 必 须 预 先 掌 控 的 ， 因 此 霍 尔 效 应 测 试 仪 是 理 解 和 研 究 半 导 体 材 料 电 学 特 性 必 备 的 工 具 。 L e a r n m o r e E c o p i a H M S 5 0 0 0 全 自 动 变 温 霍 尔 效 应 测 试 仪 E c o p i a H M S 5 0 0 0 全 自 动 变 温 霍 尔 效 应 测 试 仪 霍 尔 效 应 测 试 仪 主 要 用 于 测 量 半 导 体 材 料 的 载 流 子 浓 度 、 迁 移 率 、 电 阻 率 、 霍 尔 系 数 、 导 电 类 型 等 重 要 参 数 ， 而 这 些 参 数 是 了 解 半 导 体 材 料 电 学 特 性 必 须 预 先 掌 控 的 ， 因 此 霍 尔 效 应 测 试 仪 是 理 解 和 研 究 半 导 体 材 料 电 学 特 性 必 备 的 工 具 。 L e a r n m o r e E c o p i a H M S 5 3 0 0 全 自 动 变 温 霍 尔 效 应 测 试 仪 E c o p i a H M S 5 3 0 0 全 自 动 变 温 霍 尔 效 应 测 试 仪 霍 尔 效 应 测 试 仪 主 要 用 于 测 量 半 导 体 材 料 的 载 流 子 浓 度 、 迁 移 率 、 电 阻 率 、 霍 尔 系 数 、 导 电 类 型 等 重 要 参 数 ， 而 这 些 参 数 是 了 解 半 导 体 材 料 电 学 特 性 必 须 预 先 掌 控 的 ， 因 此 霍 尔 效 应 测 试 仪 是 理 解 和 研 究 半 导 体 材 料 电 学 特 性 必 备 的 工 具 。 L e a r n m o r e E P S 3 0 0 探 针 台 E P S 3 0 0 探 针 台 E P S 3 0 0 是 韩 国 E c o p i a 公 司 最 畅 销 的 一 款 手 动 探 针 台 。 E P S 3 0 0 尺 寸 紧 凑 ， 高 性 价 比 ， 适 合 放 置 在 手 套 箱 、 屏 蔽 箱 内 使 用 ， 适 合 与 太 阳 光 模 拟 器 或 其 他 仪 器 联 用 。 L e a r n m o r e E P S 1 0 0 0 探 针 台 E P S 1 0 0 0 探 针 台 E P S 1 0 0 0 是 韩 国 E c o p i a 高 端 的 手 动 探 针 台 ， 有 锁 针 设 计 防 止 回 针 ， 台 面 快 速 升 降 方 便 晶 圆 测 试 ， 适 合 科 研 及 微 电 子 器 件 的 失 效 分 析 。 L e a r n m o r e E T C P 2 0 0 0 低 温 探 针 台 E T C P 2 0 0 0 低 温 探 针 台 E T C P 2 0 0 0 变 温 真 空 探 针 台 ， 温 控 范 围 ： 8 0 K ~ 5 7 3 K ， 最 大 样 品 尺 寸 ： 4 英 寸 ， 高 性 价 比 。 L e a r n m o r e M P S 微 探 针 台 M P S 微 探 针 台 M P S 微 探 针 台 ( M i c r o P r o b e S t a t i o n ) 尺 寸 小 、 重 量 轻 ， 具 备 变 温 测 试 及 真 空 测 试 功 能 ， 适 用 于 科 研 工 作 ， 也 适 用 于 与 其 他 仪 器 联 用 ， 是 一 款 非 常 有 特 点 的 微 探 针 系 统 。 L e a r n m o r e 原 子 层 沉 积 系 统 原 子 层 沉 积 系 统 美 国 埃 米 A n g s t r o m D e p I I I 原 子 层 沉 积 系 统 ， 包 括 ： 传 统 的 热 原 子 层 沉 积 系 统 ( T A L D ) 、 等 离 子 增 强 原 子 层 沉 积 系 统 ( P E A L D ) 、 粉 末 样 品 的 原 子 层 沉 积 系 统 ( P o w e r A L D ) 。 L e a r n m o r e 电 子 束 蒸 发 镀 膜 机 电 子 束 蒸 发 镀 膜 机 电 子 束 蒸 发 系 统 是 化 合 物 半 导 体 器 件 制 作 中 的 一 种 重 要 工 艺 技 术 。 它 是 在 高 真 空 状 态 下 由 电 子 束 加 热 坩 埚 中 的 金 属 ， 使 其 熔 融 后 蒸 发 到 所 需 基 片 上 形 成 金 属 膜 。 可 蒸 发 很 多 难 熔 金 属 或 者 蒸 汽 压 低 的 金 属 材 料 ， 包 括 T a , W , M o , R h , C , B , P t , A l 2 O 3 , Z n O , P r 2 O 3 … V S 5 电 子 束 蒸 发 镀 膜 机 是 英 国 牛 津 真 空 公 司 生 产 ， 台 式 设 计 、 软 件 自 动 操 控 、 高 性 价 比 ， 非 常 适 合 实 验 室 科 研 使 用 。 L e a r n m o r e 电 阻 式 热 蒸 发 镀 膜 机 电 阻 式 热 蒸 发 镀 膜 机 V S 5 电 阻 式 热 蒸 发 镀 膜 机 是 英 国 牛 津 真 空 公 司 生 产 ， 台 式 设 计 、 软 件 自 动 操 控 、 高 性 价 比 ， 非 常 适 合 实 验 室 科 研 使 用 。 通 过 加 热 蒸 发 某 种 物 质 使 其 沉 积 在 固 体 表 面 ， 称 为 热 蒸 发 镀 膜 ， 热 蒸 发 镀 膜 技 术 是 历 史 最 悠 久 的 P V D 镀 膜 技 术 之 一 。 热 蒸 发 镀 膜 机 一 般 主 要 用 于 蒸 发 C d 、 P b 、 A g 、 A l 、 C u 、 C r 、 A u 、 N i 等 材 料 。 以 下 为 蒸 发 镀 膜 设 备 的 示 意 图 。 L e a r n m o r e 光 刻 机 / 紫 外 曝 光 机 ( M a s k A l i g n e r ) 光 刻 机 / 紫 外 曝 光 机 ( M a s k A l i g n e r ) 光 刻 机 又 名 ： 掩 模 对 准 曝 光 机 ， 曝 光 系 统 ， 光 刻 系 统 ， 紫 外 曝 光 机 等 。 E C O P I A 为 全 球 领 先 的 半 导 体 设 备 供 应 商 ， 多 年 来 致 力 于 掩 模 对 准 光 刻 机 和 匀 胶 机 研 发 与 生 产 ， 并 且 广 泛 应 用 于 半 导 体 、 微 电 子 、 生 物 器 件 和 纳 米 科 技 领 域 ； 该 公 司 是 目 前 世 界 上 最 早 将 光 刻 机 商 品 化 的 公 司 之 一 ， 拥 有 雄 厚 的 技 术 研 发 力 量 和 设 备 生 产 能 力 ； 并 且 其 设 备 被 众 多 著 名 企 业 、 研 发 中 心 、 研 究 所 和 高 校 所 采 用 ； 以 优 秀 的 技 术 、 精 湛 的 工 艺 和 良 好 的 服 务 ， 赢 得 了 用 户 的 青 睐 。 L e a r n m o r e 金 刚 石 划 片 机 ( D i a m o n d S c r i b e r ) 金 刚 石 划 片 机 ( D i a m o n d S c r i b e r ) 德 国 尤 尼 坦 R V 系 列 金 刚 石 手 动 划 片 机 ( D i a m o n d S c r i b e r ) ， 适 用 于 陶 瓷 、 玻 璃 、 半 导 体 晶 圆 等 多 种 材 料 划 片 。 主 要 型 号 包 括 ： 精 确 手 动 晶 圆 划 片 机 R V 1 2 9 ， 低 成 本 手 动 划 片 机 R V 1 2 6 等 。 L e a r n m o r e 半 自 动 球 焊 机 / 锲 焊 机 ( W i r e B o n d e r ) 半 自 动 球 焊 机 / 锲 焊 机 ( W i r e B o n d e r ) W i r e B o n d i n g 是 微 电 子 及 半 导 体 器 件 的 常 用 工 艺 ， W B 2 0 0 半 自 动 焊 线 机 可 进 行 球 焊 、 锲 焊 、 跳 焊 ( P u m p ) 等 焊 线 工 艺 。 L e a r n m o r e 真 空 共 晶 炉 真 空 共 晶 炉 德 国 尤 尼 坦 真 空 共 晶 炉 、 烧 结 炉 ， 紧 凑 台 式 设 计 ， 可 在 氮 气 / 甲 酸 等 氛 围 操 作 ， 广 泛 用 于 激 光 、 射 频 电 路 、 功 率 器 件 等 微 电 子 光 电 子 行 业 的 晶 粒 贴 装 ， 以 及 金 硅 合 金 ， 密 集 焊 接 和 回 流 共 晶 。 L e a r n m o r e 光 学 薄 膜 测 厚 仪 光 学 薄 膜 测 厚 仪 薄 膜 表 面 或 界 面 的 反 射 光 会 与 从 基 底 的 反 射 光 相 干 涉 ， 干 涉 的 发 生 与 膜 厚 及 折 光 系 数 等 有 关 ， 因 此 可 通 过 计 算 得 到 薄 膜 的 厚 度 。 光 干 涉 法 是 一 种 无 损 、 精 确 且 快 速 的 光 学 薄 膜 厚 度 测 量 技 术 ， 我 们 的 薄 膜 测 量 系 统 采 用 光 干 涉 原 理 测 量 薄 膜 厚 度 。 该 产 品 是 一 款 价 格 适 中 、 功 能 强 大 的 膜 厚 测 量 仪 器 。 近 几 年 ， 每 年 的 全 球 销 售 量 都 超 过 2 0 0 台 。 根 据 型 号 不 同 ， 测 量 范 围 可 以 从 1 0 n m 到 2 5 0 u m ， 它 最 高 可 以 同 时 测 量 4 个 膜 层 中 的 3 个 膜 层 厚 度 （ 其 中 一 层 为 基 底 材 料 ） 。 该 产 品 可 应 用 于 在 线 膜 厚 测 量 ， 测 氧 化 物 、 S i N x 、 感 光 保 护 膜 和 半 导 体 膜 ， 也 可 以 用 来 测 量 镀 在 钢 、 铝 、 铜 、 陶 瓷 和 塑 料 等 上 的 粗 糙 膜 层 。 L e a r n m o r e 扫 描 开 尔 文 探 针 扫 描 开 尔 文 探 针 开 尔 文 探 针 ( K e l v i n P r o b e ) 是 一 种 非 接 触 无 损 震 荡 电 容 装 置 ， 用 于 测 量 导 体 材 料 的 功 函 数 ( W o r k F u n c t i o n ) 或 半 导 体 、 绝 缘 表 面 的 表 面 势 ( S u r f a c e P o t e n t i a l ) 。 材 料 表 面 的 功 函 数 通 常 由 最 上 层 的 1 3 层 原 子 或 分 子 决 定 ， 所 以 开 尔 文 探 针 是 一 种 最 灵 敏 的 表 面 分 析 技 术 。 主 要 型 号 ： K P 0 2 0 ( 单 点 开 尔 文 探 针 ) ， S K P 5 0 5 0 ( 扫 描 开 尔 文 探 针 ) 。 L e a r n m o r e W E P C V P 2 1 电 化 学 C V 剖 面 浓 度 测 量 仪 W E P C V P 2 1 电 化 学 C V 剖 面 浓 度 测 量 仪 德 国 W E P 公 司 的 C V P 2 1 电 化 学 C V 剖 面 浓 度 测 试 仪 可 高 效 、 准 确 的 测 量 半 导 体 材 料 （ 结 构 ， 层 ） 中 的 掺 杂 浓 度 分 布 。 选 用 合 适 的 电 解 液 与 材 料 接 触 、 腐 蚀 ， 从 而 得 到 材 料 的 掺 杂 浓 度 分 布 。 电 容 值 电 压 扫 描 和 腐 蚀 过 程 由 软 件 全 自 动 控 制 。 电 化 学 E C V 剖 面 浓 度 测 试 仪 主 要 用 于 半 导 体 材 料 的 研 究 及 开 发 ， 其 原 理 是 使 用 电 化 学 电 容 电 压 法 来 测 量 半 导 体 材 料 的 掺 杂 浓 度 分 布 。 电 化 学 E C V ( C V P r o f i l e r , C V P r o f i l e r ) 也 是 分 析 或 发 展 半 导 体 光 电 化 学 湿 法 蚀 刻 ( P E C E t c h i n g ) 很 好 的 选 择 。 C V P 2 1 电 化 学 C V 剖 面 浓 度 测 量 仪 适 用 于 评 估 和 控 制 在 半 导 体 生 产 中 的 外 延 过 程 并 且 以 被 使 用 在 多 种 不 同 的 材 料 上 ， 例 如 ： 硅 、 锗 、 I I I V 族 化 合 物 半 导 体 ( 如 G a N ) 。 L e a r n m o r e 载 德 在 全 球 S I D E S E M I C O N D U C T O R   E L E C T R I C G L O B A L S E R V I C E S 载 德 半 导 体 秉 承 “ 创 新 、 优 质 与 不 断 改 良 ” 的 企 业 理 念 ， 我 们 将 更 高 效 地 为 国 内 外 市 场 的 销 售 提 供 更 完 善 的 服 务 。 L o o k a t m o r e 新 闻 资 讯 N E W S A N D I N F O R M A T I O N 复 旦 大 学 快 速 退 火 炉 R T P 完 成 验 收 复 旦 大 学 微 电 子 学 院 从 载 德 半 导 体 技 术 有 限 公 司 采 购 了 两 台 R T P 1 0 0 快 速 退 火 炉 ， 一 台 用 于 快 速 退 火 氧 化 工 艺 ( R T O ) ， 一 台 用 于 快 速 退 火 还 原 工 艺 。 两 台 快 速 退 火 炉 均 为 德 国 U n i T e m p 公 司 生 产 ， 放 置 在 复 旦 大 学 张 江 校 区 ， 本 月 均 通 过 了 学 校 组 织 的 验 收 ， 正 式 投 入 科 研 工 作 。 L o o k a t m o r e 原 子 层 沉 积 系 统 的 主 要 功 能 有 哪 些 呢 ？ 原 子 层 沉 积 系 统 在 使 用 之 前 我 们 需 要 了 解 的 知 识 点 也 有 很 多 。 原 子 层 沉 积 系 统 是 一 种 用 于 化 学 、 材 料 科 学 领 域 的 工 艺 试 验 仪 器 。 原 子 层 沉 积 系 统 具 有 热 A L D 沉 积 氧 化 物 、 氮 化 物 、 贵 金 属 等 薄 膜 材 料 的 一 些 功 能 。 L o o k a t m o r e 购 买 原 子 层 沉 积 系 统 时 需 要 注 意 的 几 个 问 题 ？ 关 于 原 子 层 沉 积 系 统 的 一 些 基 本 信 息 相 信 大 家 也 比 较 清 楚 ， 毕 竟 我 们 之 前 也 做 了 详 细 的 了 解 。 用 户 们 在 购 买 原 子 层 沉 积 系 统 的 时 候 需 要 注 意 的 事 情 也 是 比 较 多 的 ， 对 于 这 些 知 识 点 可 能 大 部 分 人 还 不 是 很 清 楚 吧 ， 为 了 避 免 大 家 买 到 劣 质 产 品 ， 下 面 我 们 来 说 一 下 有 哪 些 地 方 是 需 要 我 们 注 意 的 ， 如 果 你 也 感 兴 趣 的 话 可 以 一 起 来 看 看 的 。 L o o k a t m o r e 载 德 联 系 电 话 0 2 1 6 5 3 4 2 9 8 5 短 信 咨 询 0 2 1 6 5 3 4 2 9 8 5 发 送 邮 箱 返 回 顶 部 产 品 中 心 快 速 退 火 炉 系 列 霍 尔 效 应 测 试 仪 系 列 探 针 台 系 列 镀 膜 机 微 电 子 工 艺 设 备 测 试 仪 器 新 闻 中 心 公 司 新 闻 外 部 新 闻 相 关 新 闻 关 于 载 德 公 司 简 介 企 业 文 化 社 会 责 任 总 机 ： 0 2 1 6 5 3 4 2 9 8 5   客 服 热 线 ： 0 2 1 6 5 3 4 2 9 8 5 周 一 至 周 日 8 : 0 0 2 0 : 3 0 地 址 ： 上 海 杨 浦 区 松 花 江 路 2 5 1 弄 白 玉 兰 环 保 广 场 7 号 楼 6 0 2 室 邮 箱 ： i n f o @ c r o s s t e c h . c o m . c n       沪 I C P 备 2 0 2 0 0 2 8 7 0 1 号 1 C o p y r i g h t © 2 0 2 0 载 德 半 导 体     网 站 建 设 ： 中 企 动 力   上 海     手 机 端 搜 索 搜 索

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